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J-GLOBAL ID：200903027470047390

X線断層面検査装置

Inventor：
芝田 健治

About 芝田 健治


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000144744
Publication number (International publication number)：2001324456
Application date： May. 17, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：
【要約】【課題】 特殊な光学系を用いることなく、また少ない部品点数で簡易な構成によって鮮明なX線画像を得ることができるX線断層面検査装置を提供する。【解決手段】 被検査体Sに対してX線を照射するX線源2と、被検査体を回転させる第1の回転手段(回転ステージ4)と、被検査体と透過した透過X線像を光学像に変換するX線-光学像変換手段(X線I.I5)と、光学像を撮像する撮像手段8と、撮像手段を第1の回転手段と同期して回転させる第2の回転手段(回転機構6)と、各回転角度の複数の画像を合成して、被検査体の断層画像を生成する画像処理手段9とを備え、被検査体を回転させながら透過X線像を検出すると共に、透過X線から光学像を得る撮像手段を被検査体の回転と同期させて回転させることによって、高い鮮明度のX線画像を得る。
Claim (excerpt)：
被検査体に対してX線を照射するX線源と、被検査体を回転させる第1の回転手段と、被検査体と透過した透過X線像を光学像に変換するX線-光学像変換手段と、前記光学像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を第1の回転手段と同期して回転させる第2の回転手段と、各回転角度の複数の画像を合成して、被検査体の断層画像を生成する画像処理手段とを備える、X線断層面検査装置。
F-Term (18)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • X線断層撮影方法及びその装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-145796   Applicant：富士通株式会社
  • 特許第2925841号
  • 電気接続検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-241418   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
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