Pat
J-GLOBAL ID:200903027567316913
導電性パターン及び導電性パターン形成方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004090152
Publication number (International publication number):2005277213
Application date: Mar. 25, 2004
Publication date: Oct. 06, 2005
Summary:
【課題】 製造適性に優れ、且つ、耐久性と導電安定性とに優れた、高精細の導電性パターン、及び、そのような高精細の導電性パターンを製造適性に優れた簡易な工程で製造しうる導電性パターン形成方法を提供する。製造適性に優れ、且つ、耐久性と導電安定性とに優れた導電性パターンを提供する。【解決手段】 基材表面に、光開裂しうる部位を介して、片末端で共有結合により直接結合してなるグラフトポリマー鎖を有する表面グラフト材料を露光し、露光領域において、光開裂しうる部位を開裂させ、グラフトポリマー鎖を除去してグラフトポリマー鎖の存在領域/不存在領域を形成し、該グラフトポリマー鎖の存在領域に導電性材料を付着させてなることを特徴とする。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
基材表面に、光開裂しうる部位を介して、片末端で共有結合により直接結合してなるグラフトポリマー鎖を有する表面グラフト材料を露光し、露光領域において、光開裂しうる部位を開裂させ、グラフトポリマー鎖を除去してグラフトポリマー鎖の存在領域/不存在領域を形成し、該グラフトポリマー鎖の存在領域に導電性材料を付着させてなる導電性パターン。
IPC (7):
H05K3/10
, C08F2/00
, C23C28/00
, G03F7/004
, G03F7/40
, H01L23/12
, H05K3/18
FI (7):
H05K3/10 C
, C08F2/00 C
, C23C28/00 E
, G03F7/004 521
, G03F7/40 521
, H05K3/18 C
, H01L23/12 Q
F-Term (44):
2H025AA19
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025BH00
, 2H025BH03
, 2H025BH04
, 2H025FA03
, 2H025FA39
, 2H096AA26
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096HA30
, 4J011CA02
, 4J011CA08
, 4J011CC07
, 4K044AA06
, 4K044AA12
, 4K044AA16
, 4K044BA02
, 4K044BA08
, 4K044BA10
, 4K044BA12
, 4K044BA18
, 4K044BA21
, 4K044BB03
, 4K044BB04
, 4K044BB10
, 4K044BB11
, 4K044BC14
, 4K044CA04
, 4K044CA53
, 4K044CA64
, 5E343AA02
, 5E343BB71
, 5E343CC22
, 5E343CC62
, 5E343CC80
, 5E343DD32
, 5E343DD63
, 5E343DD68
, 5E343ER01
, 5E343ER18
, 5E343GG08
, 5E343GG11
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
導電性パターン
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-152426
Applicant:富士写真フイルム株式会社
-
導電性パターン材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-032046
Applicant:富士写真フイルム株式会社
-
導電性パターン材料及び導電性パターン形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-386491
Applicant:富士写真フイルム株式会社
Cited by examiner (3)
-
半導体基板及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-239942
Applicant:積水化学工業株式会社
-
界面活性化合物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-318438
Applicant:株式会社関西新技術研究所
-
グラフト表面固体とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-065684
Applicant:科学技術振興事業団
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