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J-GLOBAL ID:200903027685784964

多色パターン形成用感光性樹脂組成物およびそれを用いる多色パターン形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996010852
Publication number (International publication number):1996262727
Application date: Jan. 25, 1996
Publication date: Oct. 11, 1996
Summary:
【要約】【課題】 カラーフィルター製造時の膜割れ、着色ムラや画素の歪みを防止し、2回目以降の露光時間の短縮により、カラーフィルターの生産性を向上させる。【解決手段】 他のSi原子との結合数が3または4であるSi原子が、全体のSi原子数の5%以上50%未満である、重量平均分子量10000以上のネットワーク状ポリシランと、有機溶剤とを含む多色パターン形成用感光性樹脂組成物およびそれを用いる多色パターン形成方法。
Claim (excerpt):
隣接するSi原子との結合数が3または4であるSi原子が、全体のSi原子数の5〜50%である、重量平均分子量10000以上のネットワーク状ポリシランおよび有機溶剤を含有する多色パターン形成用感光性樹脂組成物。
IPC (6):
G03F 7/075 511 ,  C25D 13/00 310 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/40 521
FI (6):
G03F 7/075 511 ,  C25D 13/00 310 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/40 521
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (8)
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