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J-GLOBAL ID：200903028081839996

感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

Inventor：
大橋 武志

About 大橋 武志

, 
磯 純一

About 磯 純一


Applicant, Patent owner：
日立化成工業株式会社

About 日立化成工業株式会社


Agent (1)： 穂高 哲夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001218736
Publication number (International publication number)：2003029399
Application date： Jul. 18, 2001
Publication date： Jan. 29, 2003
Summary：
【要約】【課題】 密着性、解像度、レジスト形状、耐めっき性、耐薬品性に優れた感光性エレメンを提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有し、分子内にエチレングリコール鎖と炭素数3〜6のアルキレングリコール鎖からなる群から選択されるアルキレングリコール鎖とを少なくとも各々1つ有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中Xは、ハロゲン原子、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、アミノ基若しくは炭素数1〜20のアルキル基で置換されていても良いアリール基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環からなる基を示す。)で示される化合物を含有する感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有し、分子内にエチレングリコール鎖と炭素数3〜6のアルキレングリコール鎖からなる群から選択されるアルキレングリコール鎖とを少なくとも各々1つ有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中Xは、ハロゲン原子、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、アミノ基若しくは炭素数1〜20のアルキル基で置換されていても良いアリール基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環からなる基を示し、m及びnは、mが2以上の整数であり、nが0以上の整数であって、m+n=6となるように選ばれる整数であり、nが2以上の整数のとき、2以上のXは各々同一でも相違しても良い。)で示される化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (6)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D
F-Term (32)：
2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA40 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CF01 ,  5E339CF06 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02 ,  5E339DD04 ,  5E343BB24 ,  5E343CC62 ,  5E343CC65 ,  5E343DD33 ,  5E343ER12 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG03 ,  5E343GG08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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