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J-GLOBAL ID：200903028267188235

銅基材に有益な化学機械的研磨スラリー

Inventor： カウフマン,ブラスタ,ブラシック ,  キストラー,ロドニー シー. ,  ワン,シュミン
Applicant, Patent owner： キャボット コーポレイション
Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000536803
Publication number (International publication number)：2002506915
Application date： Mar. 18, 1999
Publication date： Mar. 05, 2002
Summary：

【要約】酸化剤、錯化剤、研磨材、及び随意の界面活性剤を含有する化学機械的研磨スラリー、並びに化学機械的研磨スラリーを使用して、銅合金、チタン、窒化チタン、タンタル、及び窒化タンタルを含む層を基材から除去する方法。このスラリーは、別個のフィルム形成剤を含有しない。

Claim (excerpt)：

研磨材、 少なくとも1種の酸化剤、及び クエン酸、乳酸、酒石酸、マロン酸、コハク酸、シュウ酸、アミノ酸、それらの塩、及びそれらの混合物を含む化合物の群より選択される約0.1〜5.0wt%の錯化剤、を含有する化学機械的研磨スラリーであって、pHが約5〜約9であり、フィルム形成剤を含有しない、化学機械的研磨スラリー。

IPC (3)：

C09K 3/14 550 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/306

FI (3)：

C09K 3/14 550 Z ,  H01L 21/304 622 D ,  H01L 21/306 M

F-Term (2)：

5F043AA26 ,  5F043DD16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 化学的機械研磨用研磨組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-223072   Applicant：昭和電工株式会社
• 金属の層と膜に使用される化学的機械的研磨用スラリー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-119404   Applicant：キャボットコーポレイション
• 研磨液及び基体の研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-217210   Applicant：旭硝子株式会社
• フッ化物添加剤を含む化学的・機械的研磨用スラリーとその使用方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-147688   Applicant：キャボットコーポレイション