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J-GLOBAL ID：200903028565549895

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
久田 菜穂子

About 久田 菜穂子

, 
山岸 毅

About 山岸 毅


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001198871
Publication number (International publication number)：2003014605
Application date： Jun. 29, 2001
Publication date： Jan. 15, 2003
Summary：
【要約】【課題】凹凸の激しい試料に対しても、測定時間を長くすることなく、正確な三次元形状測定を行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡は、試料102が載せられる試料台104と、試料台104をZ軸に沿って移動させるためのZスキャナー106と、試料台104をX軸とY軸に沿って移動させるためのXYスキャナー108と、試料102との相互作用を検出するためのカンチレバー112と、カンチレバー112の変位を検出するためのZセンサー116と、Zスキャナー106を制御するためのZ制御部118と、XYスキャナー108を制御するためのXY制御部130とを備えている。XY制御部130は、予備測定で得られる試料102の形状データを記憶するためのメモリー132と、その試料形状データに基いて修正された走査波形を生成するための走査波形生成部134とを備えている。
Claim (excerpt)：
カンチレバーのZ変位を検出するZセンサー信号に基づいてカンチレバーと試料間の距離を制御するZ制御部を有し、水平方向に走査を行うことにより試料の三次元形状データを取得する走査型プローブ顕微鏡において、試料形状データを記憶するための記憶手段と、記憶手段に記憶された試料形状データに基づいて修正された走査波形を生成するための走査波形生成部とを有していることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/16
FI (3)：
G01N 13/10 C ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 13/16 A
F-Term (9)：
2F069AA66 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG18 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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