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J-GLOBAL ID:200903028785029515

オゾンガス濃度測定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 北谷 寿一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002062781
Publication number (International publication number):2003262627
Application date: Mar. 08, 2002
Publication date: Sep. 19, 2003
Summary:
【要約】【課題】 供給されるオゾンガス源に貯留されているオゾンガスの濃度を測定する方法を提供する。【解決手段】 オゾンガス源に貯留されているオゾンガスを分解容器(4)内に封入する。封入されたオゾンガスに分解容器(4)内で火花等の着火エネルギーを作用させて封入オゾンガスを強制分解させることで、封入されているオゾンガスの全量を酸素に分解させる。分解後の上昇圧力と上昇温度から封入オゾンガスの濃度を検知する。
Claim (excerpt):
オゾンガス源からオゾンガスを分解容器(4)に封入し、分解容器(4)内に封入されているオゾンガスに着火エネルギーを作用させてオゾンガスを強制分解させることによりオゾンガスの全量を酸素に分解させ、分解後の分解容器(4)内の上昇圧力と上昇温度から封入オゾンガスの濃度を検知するようにしたオゾンガス濃度測定方法。
IPC (2):
G01N 31/00 ,  G01N 31/12
FI (2):
G01N 31/00 L ,  G01N 31/12 B
F-Term (7):
2G042AA01 ,  2G042BB10 ,  2G042CA10 ,  2G042CB01 ,  2G042DA05 ,  2G042HA02 ,  2G042HA07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
Article cited by the Patent:
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