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J-GLOBAL ID:200903028785029515
オゾンガス濃度測定方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
北谷 寿一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002062781
Publication number (International publication number):2003262627
Application date: Mar. 08, 2002
Publication date: Sep. 19, 2003
Summary:
【要約】【課題】 供給されるオゾンガス源に貯留されているオゾンガスの濃度を測定する方法を提供する。【解決手段】 オゾンガス源に貯留されているオゾンガスを分解容器(4)内に封入する。封入されたオゾンガスに分解容器(4)内で火花等の着火エネルギーを作用させて封入オゾンガスを強制分解させることで、封入されているオゾンガスの全量を酸素に分解させる。分解後の上昇圧力と上昇温度から封入オゾンガスの濃度を検知する。
Claim (excerpt):
オゾンガス源からオゾンガスを分解容器(4)に封入し、分解容器(4)内に封入されているオゾンガスに着火エネルギーを作用させてオゾンガスを強制分解させることによりオゾンガスの全量を酸素に分解させ、分解後の分解容器(4)内の上昇圧力と上昇温度から封入オゾンガスの濃度を検知するようにしたオゾンガス濃度測定方法。
IPC (2):
FI (2):
G01N 31/00 L
, G01N 31/12 B
F-Term (7):
2G042AA01
, 2G042BB10
, 2G042CA10
, 2G042CB01
, 2G042DA05
, 2G042HA02
, 2G042HA07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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オゾンガスの濃度測定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-004394
Applicant:岩谷産業株式会社
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オゾン化気体のオゾン濃度測定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-041014
Applicant:松田昌典
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オゾン発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-028389
Applicant:富士電機株式会社
Article cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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日本オゾン協会年次研究講演会講演集, 2000, Vol.9th, page.171-174
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日本オゾン協会年次研究講演会講演集, 2001, Vol.11th, Page.78-81
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日本オゾン協会年次研究講演会講演集, 1999, Vol.8th, Page.25-28
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J Chem Eng Jpn, 1999, Vol.32, No.3, Page.295-299
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産業安全研究所研究報告, 2001, No.2000, Page.25-33
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Anal Chem, 1980, Vol.52, No.7, Page.1123-1125
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真空, 2001, Vol.44, No.3, Page.167-170
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Ozone Sci Eng, 1992, Vol.14, No.2, Page.91-99
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Sens Actuators B, 2001, Vol.B77, No.1/2, Page.543-547
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電気学会放電研究会資料, 1999, Vol.ED-99, No.76-93, Page.51-56
-
Semicond FPD World, 2000, Vol.19, No.5, Page.129-131
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