高耐摩耗性および高耐焼付き性摺動部材およびその製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大川宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002145708
Publication number (International publication number)：2003336542
Application date： May. 21, 2002
Publication date： Nov. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】潤滑油中の高面圧あるいは高速度な摺動環境下で、優れた耐摩耗性と高耐焼付き性を示す摺動部材、およびその製造方法を提供する。【解決手段】潤滑油の存在下で摺動される摺動面を持つ基材と、該摺動面の少なくとも一部に固定した被膜と、からなり、前記被膜は、炭素を主成分とし、珪素を1〜5at%、水素を20〜40at%含むダイヤモンドライクカーボンからなる。また、被膜は、プラズマCVD法により、珪素化合物ガスと炭素化合物ガスとを主体とした雰囲気中で、珪素化合物ガスと炭素化合物ガスの流量比を1:5〜500の範囲内として、放電出力密度0.05〜2.0W/cm2で放電させることにより、基材の摺動面の少なくとも一部に形成する。

Claim (excerpt)：

潤滑油の存在下で摺動される摺動面を持つ基材と、該摺動面の少なくとも一部に固定した被膜と、からなり、前記被膜は、炭素を主成分とし、珪素を1〜5at%、水素を20〜40at%含むダイヤモンドライクカーボンからなることを特徴とする高耐摩耗性および高耐焼付き性摺動部材。

IPC (2)：

F02F 5/00 , C23C 16/26

FI (2)：

F02F 5/00 F , C23C 16/26

F-Term (8)：

4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030BB01 , 4K030FA01 , 4K030JA06 , 4K030JA16 , 4K030LA23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-375444 Applicant：ティーディーケイ株式会社
非晶質硬質炭素皮膜およびそれを用いた摺動部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-100725 Applicant：株式会社リケン
斜板式コンプレッサのシュー及び斜板式コンプレッサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-084866 Applicant：大豊工業株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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