水処理装置およびそれを用いた水処理方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡田敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003086381
Publication number (International publication number)：2004290813
Application date： Mar. 26, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：

【課題】CMP排水に含まれるゾル状の微粒子および窒素成分を除去する。【解決手段】ゲル状の第2のフィルタを有するフィルタ装置13を用いた濾過処理により、CMP排水中のゾル状の微粒子成分を除去する。また、電極12を用いた電気化学的処理により、CMP排水中の窒素分を除去する。これら濾過処理および電気化学的処理は、個別のタンクを用いて行うことも可能であり、同一のタンクにて行うことも可能である。同一のタンク内で濾過処理および電気化学的処理を行うことにより、省スペース化された水処理装置を提供することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被除去物を含む流体内に浸漬される第1のフィルタとその表面に吸着されるゲル膜より成る第2のフィルタとで構成されるフィルタ装置と、電気化学的手法により前記流体から窒素化合物を除去する一対の電極とを具備することを特徴とする水処理装置。

IPC (6)：

C02F1/44 , B01D63/00 , B01D69/14 , C02F1/461 , C02F1/463 , C02F1/465

FI (5)：

C02F1/44 E , B01D63/00 , B01D69/14 , C02F1/46 101A , C02F1/46 102

F-Term (35)：

4D006GA07 , 4D006HA93 , 4D006KA01 , 4D006KA31 , 4D006KA72 , 4D006KB13 , 4D006KB30 , 4D006KC27 , 4D006KE05Q , 4D006KE12P , 4D006MA06 , 4D006MA16 , 4D006MA22 , 4D006MB02 , 4D006MC22 , 4D006NA50 , 4D006PA01 , 4D006PB15 , 4D006PB23 , 4D006PC01 , 4D061DA05 , 4D061DA08 , 4D061DB16 , 4D061DB19 , 4D061DC14 , 4D061DC18 , 4D061EA03 , 4D061EA04 , 4D061EA06 , 4D061EB04 , 4D061EB19 , 4D061EB30 , 4D061ED12 , 4D061FA09 , 4D061FA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

汚水処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-297532 Applicant：三洋電機株式会社
特開昭63-158197
流体の被除去物除去装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-324366 Applicant：三洋電機株式会社

流体の被除去物除去方法および流体の被除去物除去装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-324367 Applicant：三洋電機株式会社

半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-324465 Applicant：三洋電機株式会社

廃水中の窒素及びリンの除去装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-184069 Applicant：長倉正昭, ハイ島比呂志

窒素処理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-256267 Applicant：三洋電機株式会社

水の清浄化方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-376285 Applicant：長倉正昭, はい島比呂志

特開昭63-158197

排水の再生システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-156510 Applicant：三洋電機株式会社

固液分離装置の運転方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-055816 Applicant：ダイセル化学工業株式会社, ダイセン・メンブレン・システムズ株式会社

Show all

Return to Previous Page