圧電体素子及びその製造方法、インクジェット式記録ヘッド並びにインクジェットプリンタ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲葉良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000013922
Publication number (International publication number)：2001203401
Application date： Jan. 18, 2000
Publication date： Jul. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】圧電特性に優れた圧電体素子を提供する。【解決手段】本発明の圧電体素子は構成元素として含まれるチタン及びジルコニウムのそれぞれが膜厚方向に対して濃度勾配を形成している単位層71〜単位層75を積層した圧電体膜7を備える。ここで、チタンの含有濃度を下部電極6側で高濃度に設定し、上部電極8側にかけて次第に含有濃度が減じるように濃度勾配を形成する。また、ジルコニウムの含有濃度を下部電極6側で低濃度に設定し、上部電極8側にかけて次第に含有濃度が増すように濃度勾配を形成する。

Claim (excerpt)：

構成元素として含まれるチタン及びジルコニウムのそれぞれが膜厚方向に対して濃度勾配を形成している単位層を複数積層した圧電体膜を備える圧電体素子。

IPC (6)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (6)：

H01L 41/08 C , B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 U , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

F-Term (10)：

2C057AF51 , 2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG47 , 2C057AP02 , 2C057AP16 , 2C057AP57 , 2C057AQ02 , 2C057BA04 , 2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

圧電体素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-099456 Applicant：セイコーエプソン株式会社
圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-081690 Applicant：セイコーエプソン株式会社
圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-032346 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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