Pat
J-GLOBAL ID:200903029717055245
ペースト充填装置及びペースト充填方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001307670
Publication number (International publication number):2003037360
Application date: Oct. 03, 2001
Publication date: Feb. 07, 2003
Summary:
【要約】【課題】 比較的簡単な構造で、基板に設けられた微細な非貫通孔の充填を可能としたペースト充填装置を提供する。【解決手段】 基板の非貫通孔にペーストを充填するペースト充填装置であって、基板に設けられた非貫通孔内の気体を排気する排気手段と、供給口を基板の表面に対向配置して、ペースト加圧手段により加圧されて供給口から押し出されたペーストを非貫通孔内に充填するペースト供給手段とを含み、排気手段により真空状態にした非貫通孔に、ペースト供給手段によりペーストを充填する。
Claim (excerpt):
基板の非貫通孔にペーストを充填するペースト充填装置であって、a)内部が排気されて真空状態になる排気手段であって、該排気手段が排気口を有し、該排気口を基板の表面に対向配置して、該基板に設けられた非貫通孔内の気体を排気する該排気手段と、b)ペーストが保持されたペースト供給手段であって、該ペースト供給手段が供給口とペースト加圧手段とを有し、該供給口を基板の表面に対向配置して、該ペースト加圧手段により加圧されて該供給口から押し出された該ペーストを該非貫通孔内に充填する該ペースト供給手段とを含み、該ペースト充填装置を該基板に対して相対的に移動させて、該排気手段により真空状態にした該非貫通孔に該ペースト供給手段により該ペーストを充填することを特徴とするペースト充填装置。
IPC (5):
H05K 3/40
, B41F 15/08 303
, B41F 15/40
, B41F 15/44
, H05K 3/46
FI (5):
H05K 3/40 K
, B41F 15/08 303 E
, B41F 15/40 B
, B41F 15/44 B
, H05K 3/46 N
F-Term (23):
2C035AA05
, 2C035FA27
, 2C035FD01
, 2C035FD15
, 2C035FD19
, 2C035FD35
, 2C035FD37
, 2C035FD43
, 5E317AA24
, 5E317BB02
, 5E317BB14
, 5E317CC23
, 5E317CC25
, 5E317GG11
, 5E317GG16
, 5E346AA43
, 5E346CC04
, 5E346CC09
, 5E346CC32
, 5E346EE31
, 5E346FF18
, 5E346GG15
, 5E346HH07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
Show all
Return to Previous Page