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J-GLOBAL ID:200903029717055245

ペースト充填装置及びペースト充填方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001307670
Publication number (International publication number):2003037360
Application date: Oct. 03, 2001
Publication date: Feb. 07, 2003
Summary:
【要約】【課題】 比較的簡単な構造で、基板に設けられた微細な非貫通孔の充填を可能としたペースト充填装置を提供する。【解決手段】 基板の非貫通孔にペーストを充填するペースト充填装置であって、基板に設けられた非貫通孔内の気体を排気する排気手段と、供給口を基板の表面に対向配置して、ペースト加圧手段により加圧されて供給口から押し出されたペーストを非貫通孔内に充填するペースト供給手段とを含み、排気手段により真空状態にした非貫通孔に、ペースト供給手段によりペーストを充填する。
Claim (excerpt):
基板の非貫通孔にペーストを充填するペースト充填装置であって、a)内部が排気されて真空状態になる排気手段であって、該排気手段が排気口を有し、該排気口を基板の表面に対向配置して、該基板に設けられた非貫通孔内の気体を排気する該排気手段と、b)ペーストが保持されたペースト供給手段であって、該ペースト供給手段が供給口とペースト加圧手段とを有し、該供給口を基板の表面に対向配置して、該ペースト加圧手段により加圧されて該供給口から押し出された該ペーストを該非貫通孔内に充填する該ペースト供給手段とを含み、該ペースト充填装置を該基板に対して相対的に移動させて、該排気手段により真空状態にした該非貫通孔に該ペースト供給手段により該ペーストを充填することを特徴とするペースト充填装置。
IPC (5):
H05K 3/40 ,  B41F 15/08 303 ,  B41F 15/40 ,  B41F 15/44 ,  H05K 3/46
FI (5):
H05K 3/40 K ,  B41F 15/08 303 E ,  B41F 15/40 B ,  B41F 15/44 B ,  H05K 3/46 N
F-Term (23):
2C035AA05 ,  2C035FA27 ,  2C035FD01 ,  2C035FD15 ,  2C035FD19 ,  2C035FD35 ,  2C035FD37 ,  2C035FD43 ,  5E317AA24 ,  5E317BB02 ,  5E317BB14 ,  5E317CC23 ,  5E317CC25 ,  5E317GG11 ,  5E317GG16 ,  5E346AA43 ,  5E346CC04 ,  5E346CC09 ,  5E346CC32 ,  5E346EE31 ,  5E346FF18 ,  5E346GG15 ,  5E346HH07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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