貼り合わせ半導体基板及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森正澄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997182572
Publication number (International publication number)：1999026336
Application date： Jul. 08, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【目的】貼り合わせ半導体基板のSOI構造を有するエリアを広くし、製造プロセスを単純にする貼り合わせ半導体基板及びその製造方法を提供すること。【構成】第1の半導体基板1と第2の半導体基板2の間に誘電体層を介在させて形成される貼り合わせ半導体基板及びその製造方法において、第1の半導体基板と第2の半導体基板の間に誘電体層となる酸化膜1aを介在させて貼り合わせる工程と、前記貼り合わせ半導体基板を酸化性雰囲気中で熱処理し、第1及び第2半導体基板の間に介在している誘電体層の周辺部位に更に酸化膜3bを形成する工程とを備えた構成の貼り合わせ半導体基板及びその製造方法である。

Claim (excerpt)：

第1の半導体基板と第2の半導体基板の間に誘電体層を介在させて形成される貼り合わせ半導体基板において、第1の半導体基板と第2の半導体基板の間に誘電体層となる酸化膜を介在させて貼り合わせ、更に、前記誘電体層の周囲部位には、酸化膜が形成されて、第1及び第2半導体基板の間に介在する酸化膜よりも、周辺部位の酸化膜の方の厚みが増加していることを特徴とする貼り合わせ半導体基板。

IPC (2)：

H01L 21/02 , H01L 21/304 321

FI (2)：

H01L 21/02 B , H01L 21/304 321 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

貼り合わせSOI基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-164337 Applicant：住友シチックス株式会社
特開平3-250615
特開平3-250617

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