ネガ型レジスト組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：阿形明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995093973
Publication number (International publication number)：1996292564
Application date： Apr. 19, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：

【要約】【構成】 (A)アルカリ可溶性樹脂100重量部、(B)放射線により酸を発生する化合物0.5〜20重量部、(C)N位がメチロール基又はアルコキシメチル基あるいはその両方で置換されたメラミン樹脂及び尿素樹脂の中から選ばれた少なくとも1種の架橋剤3〜70重量部及び(D)前記架橋剤に基づき5〜40重量%の、ヘキサメトキシメチルメラミン及びジメトキシメチル尿素の中から選ばれた少なくとも1種の感度向上剤を含有してなるネガ型レジスト組成物である。【効果】本発明のネガ型レジスト組成物は、従来の化学増幅型ネガ型レジストに比べ、感度及び解像度が優れ、しかも像形成露光後からPEB処理までの経時的安定性が良好なので、取り扱いやすいという利点がある。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性樹脂100重量部、(B)放射線により酸を発生する化合物0.5〜20重量部、(C)N位がメチロール基又はアルコキシメチル基あるいはその両方で置換されたメラミン樹脂及び尿素樹脂の中から選ばれた少なくとも1種の架橋剤3〜70重量部及び(D)前記架橋剤に基づき5〜40重量%の、ヘキサメトキシメチルメラミン及びジメトキシメチル尿素の中から選ばれた少なくとも1種の感度向上剤を含有してなるネガ型レジスト組成物。

IPC (3)：

G03F 7/004 531 , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 505

FI (3)：

G03F 7/004 531 , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ネガ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-294623 Applicant：三菱化成株式会社
特開平4-163552
特開平4-291258

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