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J-GLOBAL ID：200903030495719008

電子放出源の製造方法及び電子放出源

Inventor： 滝川 浩史 ,  榊原 建樹 ,  伊藤 茂生
Applicant, Patent owner： 双葉電子工業株式会社
Agent (1)： 大塚 秀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999059142
Publication number (International publication number)：2000223012
Application date： Jan. 31, 1999
Publication date： Aug. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 製造が容易な電子放出源の製造方法を提供すること。【解決手段】 チャンバ101を圧力1PaのHe雰囲気にして、直流100Aのアーク電流を流して1秒間アーク放電させて、陰極102を局所的に加熱させると、陰極102を構成する陰極材料が飛散して、表面に多数のカーボンナノチューブが形成された粒子が生じる。前記粒子を収集して、電子放出源のエミッタとして使用する。

Claim (excerpt)：

所定ガス10Torrから10-4Torrの雰囲気中でグラファイト又は所定の触媒金属を含有するグラファイトから成る粒子生成用材料を加熱することにより粒子を生成し、前記粒子を基板に被着してエミッタとして使用することを特徴とする電子放出源の製造方法。

IPC (4)：

H01J 9/02 ,  B01J 19/08 ,  C01B 31/02 101 ,  H01J 1/304

FI (4)：

H01J 9/02 B ,  B01J 19/08 C ,  C01B 31/02 101 F ,  H01J 1/30 F

F-Term (14)：

4G046CA00 ,  4G046CA01 ,  4G046CA02 ,  4G046CB08 ,  4G046CC02 ,  4G046CC08 ,  4G075AA27 ,  4G075CA02 ,  4G075CA17 ,  4G075CA62 ,  4G075CA65 ,  4G075EC21 ,  4G075FB02 ,  4G075FB03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 電子放出膜および方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-281404   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド
• 電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-249096   Applicant：株式会社東芝
• 電界放出素子およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-200992   Applicant：双葉電子工業株式会社
• 電界放出素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-011837   Applicant：双葉電子工業株式会社
• カーボンナノチューブを表面に有する炭素質物及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-025037   Applicant：工業技術院長
• 電子放出素子及び電子放出素子アレイの製造方法、並びに電子放出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-055107   Applicant：富士通株式会社