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J-GLOBAL ID：200903038908868792

電子放出膜および方法

Inventor： バーナード・コール ,  エリック・ピー・メニュー ,  アルバート・アレック・タリン
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997281404
Publication number (International publication number)：1998112253
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 低い電界強度で一様な電子を放出しかつ比較的低い温度で製造できる電子放出膜を提供する。【解決手段】 電子放出膜200,730,830を形成する方法は、(i)陰極アーク被着装置100,600内でグラファイトソース120,620を気化してカーボンプラズマ170,670を生成し、(ii)グラファイトソース120,620とガラスまたはシリコン被着基板130,630,710,810の間に電位差を与えカーボンプラズマ170,670を被着基板130,630,710,810に向かって加速し(iii)陰極アーク被着装置100,600内にワーキングガスを提供し、かつ(iiii)カーボンプラズマ170,670を被着基板130,630,710,810上に被着する段階を含む。

Claim (excerpt)：

部分的にグラファイト化したナノ結晶カーボーンの膜(200)から本質的に構成されることを特徴とする電子放出材料。

IPC (2)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

FI (2)：

H01J 1/30 A ,  H01J 9/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-249096   Applicant：株式会社東芝
• カーボンナノチューブを表面に有する炭素質物及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-025037   Applicant：工業技術院長
• フラーレン及びカーボンナノチューブの合成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-211662   Applicant：日本電気株式会社
• カーボンナノチューブの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-311846   Applicant：日本電気株式会社