マイクロミラー駆動装置及びその制御方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002056564
Publication number (International publication number)：2002311376
Application date： Mar. 01, 2002
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】マイクロミラーの共振周波数と振幅を同時に制御し、低電圧で回動角を大きくできるマイクロミラー駆動装置を提供する。【解決手段】少なくとも一つのグルーブを有するマイクロミラー110と、マイクロミラー110を回動自在に支持する弾性体105と、マイクロミラー110と相互作用して静電力を生じることによってマイクロミラー110を回動させる少なくとも一つ以上の電極とを含む。静電力を利用してマイクロミラー110を駆動するにおいて、マイクロミラー110で必要である有効面積、すなわち、光の反射経路を維持しつつ静電力を印加できる駆動部面積を広げて低電圧でも大きい駆動力及び大きい回動角を得られる。

Claim (excerpt)：

少なくとも一つのグルーブを有するマイクロミラーと、前記マイクロミラーを回動自在に支持する弾性体と、前記マイクロミラーと相互作用して静電力を生じることによってマイクロミラーを回動させる少なくとも一つ以上の電極とを含み、前記少なくとも一つ以上の電極の電圧大きさまたは電圧波形を調節して前記マイクロミラーの回動に対する振幅と周波数を制御することを特徴とするマイクロミラー駆動装置。

IPC (2)：

G02B 26/10 104 , G02B 26/10

FI (3)：

G02B 26/10 104 Z , G02B 26/10 A , G02B 26/10 F

F-Term (6)：

2H045AB06 , 2H045AB10 , 2H045AB16 , 2H045AB26 , 2H045AB38 , 2H045AB44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

光スキャナとその駆動方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-205707 Applicant：日本電気株式会社
特開昭62-203118
微小揺動ミラー素子及びこれを用いたレーザ走査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-122782 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

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