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J-GLOBAL ID：200903031719048275

基板受渡装置、基板処理装置および載置台

Inventor：
光▲吉▼ 一郎

About 光▲吉▼ 一郎


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001362064
Publication number (International publication number)：2002231785
Application date： Nov. 28, 2001
Publication date： Aug. 16, 2002
Summary：
【要約】【課題】 高いスループットを得ることができる基板受渡装置を提供する。【解決手段】 ローダー10は、FOUP(密閉型収納容器)を収容する収容部20、FOUPから基板を搬出するオープナー40および収容部20とオープナー40との間でFOUPの搬送を行う搬送ロボット30を備える。オープナー40において基板搬出を行うときには、載置テーブル41上にFOUPを載置して行う。載置テーブル41には、搬送ロボット30の搬送アーム35が鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部43が形成されている。このため、FOUPを保持した搬送アーム35が切り欠き部43を上方から通過することによって載置テーブル41に直接FOUPを渡すことができ、FOUPの受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。
Claim (excerpt)：
基板を収納する収納容器を収容するとともに、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行う基板受渡装置であって、前記収納容器を収容する収容部と、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置台と、前記収容部と前記載置台との間で前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記搬送手段は、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降する搬送アームを有し、前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部が形成されることを特徴とする基板受渡装置。
IPC (4)：
H01L 21/68 ,  B65G 1/04 505 ,  B65G 1/14 ,  B65G 49/07
FI (5)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B65G 1/04 505 A ,  B65G 1/14 B ,  B65G 49/07 L
F-Term (30)：
3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ07 ,  3F022KK20 ,  3F022LL19 ,  3F022MM13 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031EA16 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031GA06 ,  5F031GA12 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA58 ,  5F031JA49 ,  5F031MA13 ,  5F031MA17 ,  5F031MA23 ,  5F031NA10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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