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J-GLOBAL ID：200903032137010067

イオン源制御装置

Inventor： 宮崎 修 ,  三上 隆司
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 藤田 龍太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995129579
Publication number (International publication number)：1996306333
Application date： Apr. 28, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 イオン源をパルス運転し、イオンビームを電気的にオン,オフしてパルス照射する。【構成】 イオンビーム16を生成して放出するイオン源1の各種電源18,19,21,23が設けられた電源部17と、この電源部17の全部又は一部の電源の出力を自動制御によりオン,オフしてイオンビーム16をパルスビーム化する電源オンオフ手段とを備える。

Claim (excerpt)：

イオンビームを生成して放出するイオン源の各種電源が設けられた電源部と、前記電源部の全部又は一部の電源の出力を自動制御によりオン,オフし,前記イオンビームをパルスビーム化する電源オンオフ手段とを備えたことを特徴とするイオン源制御装置。

IPC (5)：

H01J 37/30 ,  C23C 14/32 ,  C23C 14/48 ,  H01J 27/08 ,  H01J 37/08

FI (5)：

H01J 37/30 A ,  C23C 14/32 A ,  C23C 14/48 Z ,  H01J 27/08 ,  H01J 37/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• イオン注入装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-002694   Applicant：日新電機株式会社
• イオン照射装置及びイオン照射方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-117064   Applicant：富士通株式会社
• イオン源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-295038   Applicant：日新電機株式会社