薄膜光電変換素子の製造装置および製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山口巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996124148
Publication number (International publication number)：1997307128
Application date： May. 20, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】一つのロールから他のロールへ巻取られる帯状可撓性基板上に各層の薄膜を成膜して高品質の多層構造の光電変換層を高い生産性で形成する。【解決手段】基板を停止して成膜を行うステッピングロール方式では、成膜のための複数の反応室間に、例えば2個の搬送ロール4と、1個の可動ロール5とからなる可動ロール機構などの、1フレーム分の基板1を蓄積できる中間蓄積機構を設ける。これにより各反応室の開放時期をずらすことができ、反応ガスの相互拡散が抑制できるので、相互拡散防止のため従来行っていた真空引きの時間が不要になり、タクト時間が17または22%短縮できる。基板を移動しながら成膜を連続的に行うロールツーロール成膜方式では、反応室間に可動ロール機構54と仕切りバルブ20を組み合わせたロール付きバルブ機構55を設けることにより、反応室間の反応ガスの相互拡散が抑止され、膜質が向上する。

Claim (excerpt)：

帯状可撓性基板の上に複数の異なる性質の薄膜を基板を静止した状態でステップ的に積層して光電変換層を形成する薄膜光起電力素子のステッピングロール方式の製造装置において、反応室間に、一回の成膜時に使用される基板の単位長(1フレーム長と称する)の整数倍の長さの基板の蓄積が可能な中間蓄積機構を有することを特徴とする薄膜光電変換素子の製造装置。

IPC (3)：

H01L 31/04 , C23C 16/54 , H01L 21/205

FI (3)：

H01L 31/04 T , C23C 16/54 , H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

薄膜太陽電池の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-051480 Applicant：株式会社富士電機総合研究所
伸縮性ウェブの間欠送り方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-031135 Applicant：富士写真フイルム株式会社
特開平4-197957

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