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J-GLOBAL ID：200903032171846832

エキシマ光源装置

Inventor：
住友 卓

About 住友 卓


Applicant, Patent owner：
ウシオ電機株式会社

About ウシオ電機株式会社


Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002335337
Publication number (International publication number)：2004171889
Application date： Nov. 19, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：
【課題】周波数が1MHz以上の高域高周波電力を間欠的に繰り返して供給することによってエキシマランプを点灯させた場合においても、全体として、高い発光効率を得ることができるエキシマ光源装置を提供すること。【解決手段】本発明のエキシマ光源装置は、複数本のエキシマランプと、これらのエキシマランプを周波数1MHz以上の高周波電力を間欠的に供給することによって点灯させる点灯用電源装置とを備えてなり、当該点灯用電源装置は、一のエキシマランプに対する高周波電力の供給を、当該一のエキシマランプが他のエキシマランプからの紫外線を受けている間に開始するものであることを特徴とする。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
複数本のエキシマランプと、これらのエキシマランプを周波数1MHz以上の高周波電力を間欠的に供給することによって点灯させる点灯用電源装置とを備えてなり、 当該点灯用電源装置は、一のエキシマランプに対する高周波電力の供給を、当該一のエキシマランプが他のエキシマランプからの紫外線を受けている間に開始するものであることを特徴とするエキシマ光源装置。
IPC (4)：
H01J65/00 ,  B01J19/12 ,  B08B7/00 ,  H01L21/304
FI (4)：
H01J65/00 B ,  B01J19/12 C ,  B08B7/00 ,  H01L21/304 645D
F-Term (17)：
3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116BC01 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA32 ,  4G075AA61 ,  4G075BA10 ,  4G075BC01 ,  4G075BC10 ,  4G075CA25 ,  4G075CA33 ,  4G075DA02 ,  4G075DA05 ,  4G075EB32 ,  4G075EE31
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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