赤外顕微分光分析方法及び装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：前川幾治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995144078
Publication number (International publication number)：1996313433
Application date： May. 17, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】赤外顕微分光分析では2〜15μm程度の波長域の光を用いるので、光の回折限界により空間分解能は高々10μm程度である。この空間分解能を回折限界を超えるミクロンないしサブミクロンのオーダにできる赤外顕微分光分析方法及び装置を実現する。【構成】被検体の表面近傍にエバネッセント波の場を形成し、このエバネッセント波の場の中に幅が微小なスリット状開口(21)を臨ませ、このスリット状開口を経由する光を検出する。

Claim (excerpt)：

赤外域の分光光を用いて被検体の表面近傍にエバネッセント波の場を形成し、このエバネッセント波の場の中に幅が微小なスリット状開口を臨ませ、このスリット状開口からの伝搬光またはスリット状開口に対向する被検体の微小領域からの伝搬光を集光し、集光した光を光電変換して信号を得、この信号に基づいてスペクトル分布を求める、ことを特徴とする赤外顕微分光分析方法。

IPC (5)：

G01N 21/35 , G01J 3/04 , G01N 21/27 , G02B 21/00 , G02B 27/56

FI (5)：

G01N 21/35 Z , G01J 3/04 , G01N 21/27 E , G02B 21/00 , G02B 27/56

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

走査型近接場顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-095911 Applicant：株式会社ニコン
全反射測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-032778 Applicant：日本分光株式会社
特開平1-248039

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