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J-GLOBAL ID:200903032666041601
透明導電性フィルムおよびタッチパネル
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
江藤 聡明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001351800
Publication number (International publication number):2003151358
Application date: Nov. 16, 2001
Publication date: May. 23, 2003
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】高分子フィルムからの透明導電膜の脱落、剥離を防止し、耐摺動性に優れた透明導電性フィルムを製造する。【解決手段】 高分子フィルム及び気相成膜法によりその上に設けられた金属酸化物からなる透明導電膜、好ましくはITO膜を含む透明導電性フィルムであって、透明導電膜が第一の金属酸化物からなる透明導電膜4およびその上に設けられた第二の金属酸化物からなる透明導電膜5からなり、第二の透明導電膜の成膜条件が第一の透明導電膜の成膜条件と異なる条件、例えば酸素含有率、窒素含有率、結晶状態及び/又は表面形状、スパッタ時の圧力、製膜速度等を異にして形成されてなる透明導電性フィルム。
Claim (excerpt):
高分子フィルムおよびその上に気相成膜法により設けられた金属酸化物からなる透明導電膜を含む透明導電性フィルムであって、金属酸化物からなる透明導電膜が、第一の金属酸化物からなる透明導電膜およびその上に設けられた第二の金属酸化物からなる透明導電膜からなり、かつ第二の金属酸化物からなる透明導電膜が第一の金属酸化物からなる透明導電膜の成膜条件と異なる条件で形成されていることを特徴とする透明導電性フィルム。
IPC (5):
H01B 5/14
, B32B 7/02 104
, C23C 14/08
, C23C 14/34
, H01B 13/00 503
FI (7):
H01B 5/14 A
, B32B 7/02 104
, C23C 14/08 D
, C23C 14/08 N
, C23C 14/34 A
, C23C 14/34 N
, H01B 13/00 503 B
F-Term (33):
4F100AA17B
, 4F100AA17C
, 4F100AA28B
, 4F100AA28C
, 4F100AK01A
, 4F100AK42
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100BA27
, 4F100EH66B
, 4F100GB41
, 4F100JG01B
, 4F100JG01C
, 4F100JL01
, 4F100JN01B
, 4F100JN01C
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BC03
, 4K029CA06
, 4K029DC05
, 5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FB04
, 5G307FC01
, 5G307FC02
, 5G323BA02
, 5G323BB03
, 5G323BB05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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特開平4-097837
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透明導電性薄膜及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-090233
Applicant:ホーヤ株式会社
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透明導電膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-218685
Applicant:東燃株式会社
-
透明導電性基板
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-296059
Applicant:旭硝子株式会社
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