マイクロメカニックなコ-ム構造

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢野敏雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999050860
Publication number (International publication number)：1999311635
Application date： Feb. 26, 1999
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】マイクロメカニックなコーム構造を改良して、固有周波数の配分によって、スペクトルの妨害域の形成を防止する。【解決手段】多数の歯101〜105を有する第1のコーム装置10と多数の歯201〜205を有する第2のコーム装置20とから成るマイクロメカニックなコーム構造であって、前記第1のコーム装置10の歯101〜105と前記第2のコーム装置20の歯201〜205が夫々、センサコンデンサ及び/又はアクチュエータコンデンサを形成するように互いに噛合って配置されている形式のものにおいて、両コーム装置10;20の内の少なくとも一方のコーム装置の歯101〜105;201〜205が、該歯の機械的な固有周波数のバリエーションを生ぜしめるように形成されている。

Claim (excerpt)：

多数の歯(101〜105)を有する第1のコーム装置(10)と多数の歯(201〜205)を有する第2のコーム装置(20)とから成るマイクロメカニックなコーム構造であって、前記第1のコーム装置(10)の歯(101〜105)と前記第2のコーム装置(20)の歯(201〜205)とが夫々、センサコンデンサ及び/又はアクチュエータコンデンサを形成するように互いに噛合って配置されている形式のものにおいて、両コーム装置(10;20)の内の少なくとも一方のコーム装置の歯(101〜105;201〜205)が、該歯(101〜105;201〜205)の機械的な固有周波数のバリエーションを生ぜしめるように形成されていることを特徴とする、マイクロメカニックなコーム構造。

IPC (2)：

G01P 15/125 , G01P 15/02

FI (2)：

G01P 15/125 , G01P 15/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

複合センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-159047 Applicant：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
振動構造物及び振動構造物を備えるアクチュエータと振動構造物の固有振動数の制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-279132 Applicant：三星電子株式会社, 韓国科学技術院
角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-027294 Applicant：株式会社村田製作所

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