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J-GLOBAL ID：200903033075460040

基板冷却装置および基板冷却方法

Inventor：
原 孝志

About 原 孝志


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 川崎 実夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998126393
Publication number (International publication number)：1999329922
Application date： May. 08, 1998
Publication date： Nov. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】基板を均一に冷却できる基板冷却装置を提供する。【解決手段】クーリングプレート12の基板冷却面12Aに載置された基板Sの上面の中央部には、エア供給ノズル41からの冷却用空気が供給される。基板冷却面12Aには、プロキシミティボール13が配設されていて、基板Sは、基板冷却面12Aとの間に一定の間隙δを保持した状態で支持される。基板冷却面12Aの中央には排気口53が形成されていて、基板Sの下面側の空間の雰囲気を吸引して排気できるようになっている。エア供給ノズル41から供給された冷却用空気は、基板Sの上面の中央部にぶつかった後にその周縁部に向かい、さらに、基板Sの下面側に回り込んで、この下面側の空間を換気する。【効果】基板Sの熱反りを防止できるから、基板Sを均一にかつ効率的に冷却できる。
Claim (excerpt)：
基板を近接させて冷却するための基板冷却面と、この基板冷却面で冷却される基板の、基板冷却面とは反対側の一方面の中央部に向けて、所定の温度の気体を供給する気体供給口を有する気体供給手段とを含むことを特徴とする基板冷却装置。
IPC (4)：
H01L 21/027 ,  F25D 1/00 ,  H01L 21/68 ,  H05K 7/20
FI (4)：
H01L 21/30 567 ,  F25D 1/00 B ,  H01L 21/68 N ,  H05K 7/20 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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