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J-GLOBAL ID:200903033240951690
ステージ組品の反射鏡を較正するための装置、及び方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
志賀 正武 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001360053
Publication number (International publication number):2002267410
Application date: Nov. 26, 2001
Publication date: Sep. 18, 2002
Summary:
【要約】【課題】 デバイスを正確に位置決めするステージ組品を提供する。【解決手段】 デバイス26を保持するデバイステーブル48と、デバイステーブル48に結合され、デバイステーブル48を移動させるステージ駆動体組品16と、デバイステーブル48に固定された第1のX反射鏡25A、及び第2のX反射鏡25Bを有して、デバイステーブル48の位置を検出する測定系20と、デバイステーブル48に固定され、第2のX反射鏡25Bに対する第1のX反射鏡25Aの相対的な位置を決定するために用いられる第1の基準マーク76、及び第2の基準マーク78とを備える。
Claim (excerpt):
デバイスを移動させるステージ組品において、デバイスを保持するデバイステーブルと、前記デバイステーブルに結合され、前記デバイステーブルを移動させるステージ駆動体組品と、前記デバイステーブルに固定された第1のX反射鏡、及び第2のX反射鏡を有して、前記デバイステーブルの位置を検出する測定系と、前記デバイステーブルに固定され、前記第2のX反射鏡に対する前記第1のX反射鏡の相対的な位置を決定するために用いられる第1の基準マーク、及び第2の基準マークと、を備えていることを特徴とするステージ組品。
IPC (4):
G01B 11/00
, G12B 5/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
FI (5):
G01B 11/00 A
, G12B 5/00 T
, H01L 21/68 F
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 503 A
F-Term (35):
2F065AA03
, 2F065CC17
, 2F065FF55
, 2F065JJ05
, 2F065JJ07
, 2F065LL12
, 2F065UU03
, 2F065UU07
, 2F078CA02
, 2F078CA08
, 2F078CB02
, 2F078CB05
, 2F078CB09
, 2F078CB12
, 2F078CB15
, 2F078CC11
, 2F078CC15
, 5F031CA02
, 5F031HA57
, 5F031JA06
, 5F031JA22
, 5F031JA38
, 5F031KA06
, 5F031KA20
, 5F046BA03
, 5F046CC01
, 5F046CC03
, 5F046CC16
, 5F046CC17
, 5F046DA07
, 5F046DB05
, 5F046DB11
, 5F046DC12
, 5F046EA02
, 5F046EB03
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
-
ステップ・アンド・リピート装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-112936
Applicant:インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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干渉計ミラーを有するステージ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-086762
Applicant:株式会社ニコン
-
座標測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-068269
Applicant:株式会社ニコン
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