ナノインプリント用スタンパ、ナノインプリント用スタンパの製造方法、およびナノインプリント用スタンパの表面処理剤

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：磯野道造 , 多田悦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007012128
Publication number (International publication number)：2008178984
Application date： Jan. 23, 2007
Publication date： Aug. 07, 2008
Summary：

【課題】本発明の課題は、剥離層をスタンパ表面に簡便に形成することが可能であり、かつ多数回に渡って連続して転写が行われても剥離性の劣化が少ない耐久性に優れたナノインプリント用スタンパを提供することにある。【解決手段】被転写体に転写する微細パターンが表面に形成されているスタンパ2において、前記表面に含フッ素ポリエーテル102が付与されており、前記含フッ素ポリエーテル102の両末端のうち少なくとも片末端は前記表面と化学的に結合しているとともに、前記含フッ素ポリエーテル102を構成するフルオロポリエーテル鎖は、パーフルオロポリエーテル鎖の主鎖のフッ素原子の一部が水素原子に置換されてなることを特徴とする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

被転写体に転写する微細パターンが表面に形成されているナノインプリント用スタンパにおいて、前記表面に含フッ素ポリエーテルが付与されており、前記含フッ素ポリエーテルの両末端のうち少なくとも片末端は前記表面と化学的に結合しているとともに、前記含フッ素ポリエーテルを構成するフルオロポリエーテル鎖は、パーフルオロポリエーテル鎖の主鎖のフッ素原子の一部が水素原子に置換されたものであって、その水素置換率が原子百分率で、0.1%以上、10%以下であることを特徴とするナノインプリント用スタンパ。

IPC (2)：

B29C 59/02 , H01L 21/027

FI (2)：

B29C59/02 B , H01L21/30 502D

F-Term (14)：

4F209AA16 , 4F209AA32 , 4F209AJ02 , 4F209AJ03 , 4F209AJ08 , 4F209AJ09 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN01 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5F046BA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

インプリント加工用金型およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-091011 Applicant：ダイキン工業株式会社
ケイ素含有有機含フッ素ポリエーテルおよびその用途
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-017726 Applicant：ダイキン工業株式会社

Cited by examiner (1)

インプリント加工用金型およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-150292 Applicant：ダイキン工業株式会社

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