外力検出装置およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：広瀬和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997029664
Publication number (International publication number)：1998213441
Application date： Jan. 29, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】外力を検出する検出部が収容された密閉室内の酸素を除去することにより、密閉室内を十分に減圧させ、検出部の検出感度を向上させる。【解決手段】ガラス基板5の凹陥部5B底部にジルコニウムからなる酸素吸収用金属膜32を蒸着して設け、シリコン基板2とガラス基板5との陽極接合時に発生した酸素ガスを、該酸素吸収用金属膜32により吸収する。また、酸素吸収用金属膜32は外部から電流を印加することにより自己発熱させることができる。封止後に金属膜32表面の酸化が限界であっても、自己発熱させることにより、再活性化して密閉室6内の酸素ガスをより吸収できる。密閉室6内を十分に減圧でき、角速度の検出感度を向上できる。

Claim (excerpt)：

シリコン基板と、該シリコン基板に陽極接合して設けられたガラス基板と、前記シリコン基板と該ガラス基板との間に形成された密閉室と、該密閉室内に収容され外力が作用したときの変位を検出する検出部とからなる外力検出装置において、前記密閉室内に位置して前記ガラス基板と前記シリコン基板のうち少なくともいずれか一方の基板の表面に酸素吸収用金属膜を設け、該酸素吸収用金属膜は外部から電流を印加することによって自己発熱し、前記密閉室内の酸素を吸収する構造としたことを特徴とする外力検出装置。

IPC (3)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/00

FI (3)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-046577 Applicant：株式会社村田製作所
加速度センサ及び加速度センサの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-137413 Applicant：株式会社ゼクセル, 江刺正喜
集積化ゲッタを有するフラット・パネル・ディスプレイ用の陽極板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-177920 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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