レーザ光発生方法及びその装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：逢坂宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998052271
Publication number (International publication number)：1999251666
Application date： Mar. 04, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】簡易な構成で波長約193nmのレーザ光を発生すること。【解決手段】 Nd:YAGレーザから出射された波長946nmのレーザ光の第4高調波である波長236.5nmのレーザ光(e)と、Nd:YAGレーザ又はNd:YLFレーザから出射された波長1047nm〜1064nmのレーザ光(g)とを和周波混合して波長約193nmのレーザ光を発生する。

Claim (excerpt)：

波長236.5nmのレーザ光と、波長1047nm〜1064nmのレーザ光とを非線形光学効果を利用して混合せしめ、波長192.9nm〜193.5nmのレーザ光を発生させる、レーザ光発生方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

光源装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-315087 Applicant：株式会社ニコン
第4高調波発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-256484 Applicant：イビデン株式会社
レーザ光発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-005425 Applicant：ソニー株式会社

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