欠陥検査方法及びその装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997265442
Publication number (International publication number)：1999108759
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】対象物のカラー画像の色を計測し、正常部と異常部といった2つのモードに識別することにより、検査を行う方法及び装置を提供すること。【解決手段】色の違いから、欠陥部と正常部といった2つのモードに識別するものについて、対象物11をカメラ13で撮像して、そのカラー画像データの色度を計測し、色度分布から検出したい部分のみを自動で検出することにより、表面欠陥などの自動検査を実現する。また、カラーキャリブレーション手段及び寸法ティーチングを行うことにより、カラーカメラによる高精度な色度計測及び形状計測を行うことができる。また、検査対象物のカラー画像データにおいて、算出された色度分布から基準となる色を算出し、それに対する色相・色差から求めたい色度領域を限定することにより、検査対象物を2つのモードに自動で識別し、検査の高効率化と信頼性の向上を図る。

Claim (excerpt)：

試料の表面の色を検出して前記試料の表面欠陥を検査する欠陥検査装置であって、前記試料を撮像してカラー画像として取り込む画像取り込み手段と、該画像取り込み手段で取り込んだ前記カラー画像のデータから色度・輝度を算出する色度・輝度算出手段と、該色度・輝度算出手段で算出した色度・輝度の分布から欠陥候補部を抽出する欠陥候補抽出手段と、該欠陥候補抽出手段で抽出した欠陥候補部の形状を計測してその形状から欠陥のみを検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段で検出した検出結果を出力する出力手段と、前記欠陥検出手段で検出した検出結果を格納する格納手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01J 3/46 , G01B 11/30 , G01N 21/88

FI (3)：

G01J 3/46 Z , G01B 11/30 Z , G01N 21/88 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

挿入部品検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-138215 Applicant：松下電器産業株式会社
特開昭62-269024
特開昭62-269024

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