光熱ベンディング分光装置および分光法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長瀬成城
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997000472
Publication number (International publication number)：1998197464
Application date： Jan. 07, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】試料中の欠陥準位や不純物濃度および膜中の含有水素量や窒素量を測定できる光熱ベンディング分光装置を提供する。【解決手段】励起光源系A、信号検出系Bおよび制御系Cとを備えてなる光熱ベンディング分光装置であって、前記励起光源系Aは可視光領域から赤外領域までの波長領域の光源1と、該光源からの光を単色化された励起光とするモノクロメータ2と、前記励起光を一定周波数とする光チョッパー3とを有し、前記信号系は試料ホルダー6と試料のたわみ量を検出するたわみ量検出レーザー7と、前記レーザー光の位置変化を検出する位置敏感検出素子8と、前記レーザー光の変位に対応する信号成分を検出するロックインアンプとを有し、さらに、前記制御系はロックインアンプ9の出力信号からコンピュータを用いてデータの取り込みと蓄積を行うとともに、モノクロメータの波長送りおよび光フィルターの変更を行う機能を有していることを特徴とする光熱ベンディング分光装置。

Claim (excerpt)：

励起光源系A、信号検出系Bおよび制御系Cとを備えてなる光熱ベンディング分光装置であって、前記励起光源系Aは可視光領域から赤外領域までの波長領域の光源と、該光源からの光を単色化された励起光とするモノクロメータと、前記励起光を一定周波数とする光チョッパーとを有し、前記信号系は試料ホルダー6と試料のたわみ量を検出するたわみ量検出レーザー7と、前記レーザー光の位置変化を検出する位置敏感検出素子8と、前記レーザー光の変位に対応する信号成分を検出するロックインアンプとを有し、さらに、前記制御系はロックインアンプ9の出力信号からコンピュータを用いてデータの取り込みと蓄積を行うとともに、モノクロメータの波長送りおよび光フィルターの変更を行う機能を有していることを特徴とする光熱ベンディング分光装置

IPC (3)：

G01N 25/16 , G01J 3/00 , G01N 21/35

FI (3)：

G01N 25/16 C , G01J 3/00 , G01N 21/35 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

特開昭63-292045
熱量センサ
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-503771 Applicant：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
特開平3-056846

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