フッ化物の回収方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木戸一彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998187188
Publication number (International publication number)：2000015056
Application date： Jul. 02, 1998
Publication date： Jan. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】排ガス中に含まれる化学的に安定なフッ化物を効率よく回収することができるフッ化物の回収方法を提供する。【解決手段】半導体製造工程から排出される排ガスを構成する主成分ガス中のパーフルオロカーボン,ハイドロフルオロカーボン,三フッ化窒素,六フッ化硫黄等の化学的に安定なフッ化物以外の不純物成分をあらかじめ除去した後、前記化学的に安定なフッ化物を、比表面積1100〜1400m2,細孔容積0.65〜0.99cc/gの活性炭に吸着させて前記主成分ガスから分離回収する。

Claim (excerpt)：

半導体製造工程から排出される排ガス中のフッ化物を回収する方法において、前記排ガスを構成する主成分ガス中の化学的に安定なフッ化物以外の不純物成分をあらかじめ除去した後、前記化学的に安定なフッ化物を、比表面積1100〜1400m2,細孔容積0.65〜0.99cc/gの活性炭に吸着させて前記主成分ガスから分離回収することを特徴とするフッ化物の回収方法。

IPC (2)：

B01D 53/68 , B01D 53/04

FI (2)：

B01D 53/34 134 C , B01D 53/04 A

F-Term (16)：

4D002AA22 , 4D002AC10 , 4D002BA04 , 4D002CA07 , 4D002DA41 , 4D002EA02 , 4D002EA08 , 4D002GA01 , 4D002GB12 , 4D012BA03 , 4D012CA12 , 4D012CB12 , 4D012CD05 , 4D012CE03 , 4D012CF10 , 4D012CG10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

排ガス処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-154043 Applicant：セントラル硝子株式会社
特開平4-150914
パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-187877 Applicant：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

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