積層体、耐蝕性部材および耐ハロゲンガスプラズマ用部材

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村興作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000376151
Publication number (International publication number)：2002001865
Application date： Dec. 11, 2000
Publication date： Jan. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】アルミナからなる基体と、この基体上に形成されている膜との積層体であって、膜が基体から剥離しにくく、特には腐食物質に接触した後においても膜が剥離しにくいようにする。【解決手段】アルミナからなる基体と、基体上に形成されているイットリウム化合物膜との積層体を提供する。基体とイットリウム化合物膜との界面に沿って、アルミナとイットリア化合物との反応生成物からなる中間層を備えている。イットリウム化合物膜は、イットリアを含むことが好ましく、特にイットリアからなることが好ましい。反応生成物は、イットリウムを含む複合酸化物が好ましい。

Claim (excerpt)：

アルミナからなる基体と、この基体上に形成されているイットリウム化合物膜との積層体であって、前記基体と前記イットリウム化合物膜との界面に沿ってアルミナとイットリウム化合物との反応生成物が存在することを特徴とする、積層体。

IPC (4)：

B32B 9/04 , C04B 41/87 , C04B 41/89 , H01L 21/205

FI (4)：

B32B 9/04 , C04B 41/87 J , C04B 41/89 Z , H01L 21/205

F-Term (27)：

4F100AA05B , 4F100AA05C , 4F100AA05D , 4F100AA17B , 4F100AA19A , 4F100AA19C , 4F100AA19D , 4F100AA33B , 4F100AA33C , 4F100AA33D , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100DD07B , 4F100DE01D , 4F100DJ10D , 4F100EH56 , 4F100GB41 , 4F100JA11C , 4F100JB02 , 4F100JK06 , 4F100YY00B , 5F045AA03 , 5F045BB08 , 5F045BB15 , 5F045EB03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

耐蝕性部材、ウエハー設置部材および耐蝕性部材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-325171 Applicant：日本碍子株式会社
窒化アルミニウム焼結体及びそのメタライズ基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-256221 Applicant：住友電気工業株式会社
中間材により接合したセラミックス部材およびその接合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-275267 Applicant：科学技術振興事業団

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