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J-GLOBAL ID：200903035277485145
検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998118255
Publication number (International publication number)：1999311608
Application date： Apr. 28, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：
【要約】【目的】本発明は、パルス光源を用いたとしても、ある程度のスループットを確保し得る高性能な検査装置を提供する。【構成】パルス光を供給する光源と、該光源からの光を被検物へ照明する照明光学系と、該照明光学系により照明された前記被検物からの光を集光して前記被検物の像を形成する結像光学系と、前記被検物の像を光電的に検出するTDI型検出器を含む検出系と、該検出系からの出力信号に基づいて所定の画像処理を行う画像処理系とを有する検査装置。
Claim (excerpt)：
パルス光を供給する光源と、該光源からの光を被検物へ照明する照明光学系と、該照明光学系により照明された前記被検物からの光を集光して前記被検物の像を形成する結像光学系と、前記被検物の像を光電的に検出するTDI型検出器を含む検出系と、該検出系からの出力信号に基づいて所定の画像処理を行う画像処理系とを有することを特徴とする検査装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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