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J-GLOBAL ID：200903035542531170
非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001016742
Publication number (International publication number)：2002221411
Application date： Jan. 25, 2001
Publication date： Aug. 09, 2002
Summary：
【要約】【課題】 各種非接触式三次元形状測定器において、精度変動要因を複合的に考慮し信頼性の高い精度保証を行うと共に、各種非接触式三次元形状測定器に対し容易に計測精度保証を行うことのできる計測精度保証方法を提供する。【解決手段】 第一標準ゲージ36を用いた検定によりCCDカメラ(センサ)の縦横高さ方向の分解能をまず確認し、さらに、第二標準ゲージ42を用いて、センサが縦横方向に関しどのくらいの精度で測定を行っているかを確認する。この第一標準ゲージ36、第二標準ゲージ42による検定を行うことにより、第三標準ゲージ44の円筒の円弧を所定精度で測定していることを保証することができる。さらに、第三標準ゲージ44を用いた検定により、色の違いによるセンサの形状認識誤りの程度や曲面測定精度を確認する。そして、各検定の結果を用いて、センサの総合測定精度を算出し、非接触式三次元形状測定器12の精度保証を行う。
Claim (excerpt)：
被測定物表面の画像を複数の測定素子を有するセンサで取得して、前記被測定物の表面三次元形状を測定する非接触式三次元形状測定器における計測精度保証方法であって、平坦な斜面部を有する第一標準ゲージの斜面部画像を取得して、フォーカスが合ったときの各測定素子が取得する測定点群データの間隔に基づいて、前記センサの縦横高さ方向の測定分解能を検定するステップと、平坦な複数の平面部を階段状に配列した第二標準ゲージの平面部画像を複数回取得して、各測定素子が取得する測定毎の測定点群データの前記平面部の垂直方向の座標ばらつきに基づいて、前記センサの同一平面ばらつき精度及び、異なる2平面部の高さ方向の測定精度を検定するステップと、円筒表面に少なくとも膨張色から収縮色まで段階的に変化する色彩を有する第三標準ゲージの円筒表面画像を取得して、各測定素子が取得する色の異なる位置における測定点群データが形成する円筒外形に基づいて形状膨縮精度及び曲面測定精度を検定するステップと、前記各ステップの結果に基づいて、センサの総合測定精度を算出するステップと、を含み、前記センサの総合測定精度に基づいて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする計測精度保証方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/24 E
, G01B 11/24 K
2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB06
, 2F065BB08
, 2F065CC11
, 2F065EE00
, 2F065FF06
, 2F065FF09
, 2F065FF61
, 2F065HH06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ07
, 2F065JJ26
, 2F065SS03
