SPMカンチレバー及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：最上健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001284276
Publication number (International publication number)：2003090788
Application date： Sep. 19, 2001
Publication date： Mar. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比の探針を有し、探針先端が測定試料表面と垂直に向き合い、あらゆる試料形状の表面形状を正確且つ高分解能で測定可能なSPMカンチレバー及びその製造方法を提供する。【解決手段】支持部1と、該支持部から延びたレバー部2と、該レバー部の自由端側4に探針軸5を傾けて配置され、3面で形成されたテトラヘドラル型探針3とを備え、カンチレバーの探針形成側の全面にわたってNi などの触媒金属膜6を設けて、探針先端7にレバー部2に対する垂直面よりもレバー自由端側の方向に傾けて、すなわち探針軸5方向にCNT8を形成して、CNT付きのSPMカンチレバーを構成する。

Claim (excerpt)：

支持部と、該支持部から延びたレバー部と、該レバー部の自由端近傍に形成された少なくとも3面以上の面で構成された探針とからなるSPMカンチレバーにおいて、カーボンナノチューブが前記探針の先端に、前記レバー部に対する垂直面から一定の角度傾いた方向に、選択的に突出形成されていることを特徴とするSPMカンチレバー。

IPC (2)：

G01N 13/16 , G12B 21/08

FI (2)：

G01N 13/16 C , G12B 1/00 601 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

高性能ナノチューブプローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-194858 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
微小接触式プローバー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-303804 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
成膜方法及び成膜装置
Gazette classification：再公表公報 Application number：JP2000000328 Applicant：ソニー株式会社

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