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J-GLOBAL ID：200903035628031006

リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置

Inventor：
浜田 智秀

About 浜田 智秀


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998246607
Publication number (International publication number)：2000078830
Application date： Sep. 01, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 2段構造を採用することなく、駆動対象物を2次元方向に駆動できるリニアモータを提供する。【解決手段】 リニアモータ32は、所定の長ストローク方向(Y軸方向)に延びる一連の空隙内に磁束を発生する磁極ユニット32Aと、この磁極ユニットとの間に生じる電磁気的相互作用によって磁極ユニットに対してY軸方向、並びにY軸方向及び前記磁束方向(Z軸方向)に直交する方向(X軸方向)に相対駆動される電機子ユニット32Bとを備える。磁極ユニット32Aと電機子ユニット32Bとの一方を固定子、他方を可動子とした場合の可動子をY方向のみでなく、X方向にも駆動することができる。従って、可動子側を駆動対象物に固定することにより、2段構造を採用することなく、駆動対象物を2次元方向に駆動することが可能になる。
Claim (excerpt)：
所定の長ストローク方向に延びる一連の空隙内に磁束を発生する磁極ユニットと;前記磁極ユニットとの間に生じる電磁気的相互作用によって前記磁極ユニットに対して前記長ストローク方向、並びに前記長ストローク方向及び前記磁束方向と異なる方向に相対駆動される電機子ユニットとを備えることを特徴とするリニアモータ。
IPC (3)：
H02K 41/03 ,  H01L 21/68 ,  H02K 41/02
FI (3)：
H02K 41/03 A ,  H01L 21/68 K ,  H02K 41/02 C
F-Term (18)：
5F031AA02 ,  5F031AA10 ,  5F031CC07 ,  5F031JJ02 ,  5F031KK04 ,  5F031MM10 ,  5H641BB01 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG10 ,  5H641HH02 ,  5H641HH20 ,  5H641JA05 ,  5H641JA16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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