ステージ装置およびこれを用いた露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：阪本善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996322323
Publication number (International publication number)：1998149976
Application date： Nov. 18, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】レチクルステージ等を走査させたときのガイドの渦電流を低減する。【解決手段】レチクルステージ3は両側のリニアモータによってガイド2に沿ってY軸方向に走査される。レチクルステージ3とガイド2を非接触に保つエアパッドユニット11〜14は、それぞれ、ガイド2の溝2aに嵌合する積層磁性体24に対向する予圧ユニット23を有し、これによって軸受剛性を強化される。積層磁性体24は、薄板磁性材と薄板絶縁材を積層したもので、予圧ユニット23の移動によって発生する渦電流を薄板絶縁材によって寸断して、リニアモータの駆動効率を向上させる。

Claim (excerpt)：

ガイドの案内面に沿って移動自在である移動ステージと、これを移動させる駆動手段と、前記移動ステージと前記案内面の間を非接触に保つための静圧軸受手段と、前記案内面の所定の部位に対向して移動するように前記移動ステージに保持された磁気手段を有し、前記案内面の少なくとも前記所定の部位が、絶縁層を介して複数の薄板磁性材を積層した積層磁性体の側面によって構成されていることを特徴とするステージ装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 , B23Q 1/25 , B23Q 5/28 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (7)：

H01L 21/30 518 , B23Q 5/28 B , G03F 9/00 H , H01L 21/68 K , H01L 21/30 515 F , H01L 21/30 515 G , B23Q 1/18 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

走査ステージ装置およびこれを用いた露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-134744 Applicant：キヤノン株式会社
ステージ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-140738 Applicant：株式会社ニコン
特開昭61-025221

Show all

Return to Previous Page