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J-GLOBAL ID：200903035798336375

表面検査装置

Inventor：
山岸 靖則

About 山岸 靖則


Applicant, Patent owner：
関東自動車工業株式会社

About 関東自動車工業株式会社


Agent (1)： 福留 正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005060379
Publication number (International publication number)：2006242814
Application date： Mar. 04, 2005
Publication date： Sep. 14, 2006
Summary：
【課題】面光源装置により平行光を照射された検査対象となる表面をイメージセンサで撮像して、その画像信号レベルが、正常な表面に対応する高信号レベルから低下するのを検出して表面に生じている微小欠陥を自動的に検知するための表面検査装置において、微小欠陥をさらに高感度で検出可能にする。 【解決手段】面光源装置10が、縦長範囲に紫外線を照射する紫外線光源11と、その前方に位置し、かつ縦長範囲の横方向へ拡散して入射する紫外線を横方向に平行に集束させるシリンドリカルレンズ15とを備える。紫外線光源11は、それぞれの光軸が円弧中心点である焦点Fに一致するように、横方向へ円弧状に配列された複数個をさらに縦方向へ配列した一群の紫外線発光ダイオード11aで構成される。 【選択図】図1
Claim (excerpt)：
面光源装置により平行光を照射された検査対象となる表面をイメージセンサで撮像して、画像処理装置によりイメージセンサから出力される画像信号レベルが、正常な表面に対応する高信号レベルから低下するのを検出して表面に生じている微小欠陥を自動的に検知するための表面検査装置において、 面光源装置が、縦長範囲に紫外線を照射する紫外線光源と、この紫外線光源の前方に位置し、かつ前記縦長範囲の横方向へ拡散して入射する前記紫外線を横方向に平行に集束させるレンズとを備えると共に、イメージセンサが紫外線を検知することを特徴とする表面検査装置。
IPC (1)：
G01N 21/84
FI (1)：
G01N21/84 E
F-Term (9)：
2G051AA89 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AB12 ,  2G051BA05 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
  • 特開平3-10150号公報
  • 故障診断装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-054006   Applicant：株式会社オプトン
  • LEDを光源とする車両用灯具
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-288479   Applicant：市光工業株式会社
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Cited by examiner (5)
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