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J-GLOBAL ID:200903036081042691

複合センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998135026
Publication number (International publication number):1999325912
Application date: May. 18, 1998
Publication date: Nov. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】 角速度を高精度で検出する。角速度に加えて加速度も検出する。【解決手段】 枝部A2,A3に励振電極を形成する。枝部A4〜A7に検出電極を形成する。A5,A7を傾斜形状とする。励振電極へ交流電圧eを印加し、A2,A3をY軸方向へ振幅をもつ伸縮振動をさせる。これによってA1をX-Y平面に平行にY軸方向へ振幅をもって屈曲振動させ、A4〜A7をX-Y平面に平行にX軸方向へ振幅をもって屈曲振動させる。Y軸の回りに回転すると、コリオリの力によりA4〜A7がZ軸方向成分をもって屈曲振動し、A4,A6の検出電極から角速度に応じた電圧信号が得られる。Z軸方向の加速度が作用すると、A5,A7に慣性によるねじれ現象を始発として屈曲振動が生じ、A5,A7の検出電極から加速度に応じた電圧信号が得られる。
Claim (excerpt):
ひとつのセンシング素子構造体(センサ)を用いて、角速度と加速度を同時に、かつ、独立して検出することを特徴とした複合センサ。
IPC (3):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09
FI (3):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 加速度と角速度の複合センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-310514   Applicant:松下電器産業株式会社
  • 振動型ジャイロスコープ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-041079   Applicant:アルプス電気株式会社
  • 複合センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-159047   Applicant:日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
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