分光式特定成分センサ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：西川惠清 , 森厚夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003394638
Publication number (International publication number)：2005156329
Application date： Nov. 25, 2003
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：

【課題】良好な製造歩留まり且つ小型の光学系にて、流体物に含まれる特定成分を検出する。【解決手段】気体又は液体からなる流体物に含まれる特定成分を検出する分光式特定成分センサであって、ビーム光を出射する光源2と、筒状に形成されその筒状内部が流体物の流路でありビーム光が照射する検知管3と、流路に対して光源2の対岸側にありビーム光を反射させる光反射体4と、流路に対して光源2と同じ側にあり光反射体4で反射されたビーム光を受光する受光器5と、光源2より光反射体4を経由して受光器5に至る光軸上にビーム光を分光するフィルタ分光部6とを備え、そのフィルタ分光部6に、それぞれが光軸上に挿入するか否かを位置制御されるとともに異なる波長帯の光を透過させる光学多層膜フィルタ60を複数設ける。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

気体又は液体からなる流体物に含まれる特定成分を検出する分光式特定成分センサであって、ビーム光を出射する光源と、筒状に形成されその筒状内部が前記流体物の流路であり前記ビーム光が照射する検知管と、前記流路に対して前記光源の対岸側にあり前記ビーム光を反射させる光反射体と、前記流路に対して前記光源と同じ側にあり前記光反射体で反射された前記ビーム光を受光する受光器と、前記光源より前記光反射体を経由して前記受光器に至る光軸上に前記ビーム光を分光するフィルタ分光部とを備え、そのフィルタ分光部に、それぞれが前記光軸上に挿入するか否かを位置制御されるとともに異なる波長帯の光を透過させる光学多層膜フィルタを複数設けることを特徴とする分光式特定成分センサ。

IPC (2)：

G01N21/35 , G01J3/26

FI (2)：

G01N21/35 Z , G01J3/26

F-Term (35)：

2G020AA03 , 2G020BA02 , 2G020BA12 , 2G020BA14 , 2G020CA02 , 2G020CB04 , 2G020CB27 , 2G020CB42 , 2G020CC26 , 2G020CC48 , 2G020CD03 , 2G020CD13 , 2G020CD24 , 2G020CD26 , 2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059BB04 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059GG02 , 2G059HH01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ13 , 2G059JJ24 , 2G059KK01 , 2G059KK09 , 2G059LL03 , 2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065AB28 , 2G065BA13 , 2G065BB27 , 2G065BB37

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特開平3-205521号公報(第4頁-第6頁、及び、第2図)
ガス検出器及びガス検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-235468 Applicant：矢崎総業株式会社
赤外線ガス分析計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-199771 Applicant：株式会社島津製作所

Cited by examiner (12)

特許第3325690号
赤外線ガス分析計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-030820 Applicant：横河電機株式会社
フィルタ切換え装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-295532 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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