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J-GLOBAL ID:200903036780806583

表面疵検査方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小林 英一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998010834
Publication number (International publication number):1999211674
Application date: Jan. 22, 1998
Publication date: Aug. 06, 1999
Summary:
【要約】【課 題】 単発性疵および群発性疵の疵種・疵グレードを正確に判定できる表面疵検査方法および装置を提供する。【解決手段】 疵検出器の出力信号を弁別して疵部を抽出し、この疵部の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵種および疵グレードを判定する表面疵検査方法において、弁別・抽出された各疵部の特徴パラメータに基づいて疵種を判定し、同一の疵種と判定された疵相互間の距離を算出し、所定距離以内の疵を一つの疵に連結し、連結後の疵の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵グレードを判定する。
Claim (excerpt):
疵検出器の出力信号を弁別して疵部を抽出し、この疵部の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵種および疵グレードを判定する表面疵検査方法において、弁別・抽出された各疵部の特徴パラメータに基づいて疵種を判定し、同一の疵種と判定された疵相互間の距離を算出し、所定距離以内の疵を一つの疵に連結し、連結後の疵の特徴パラメータを計算し、この計算結果に基づいて疵グレードを判定することを特徴とする表面疵検査方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
  • 表面検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-204715   Applicant:株式会社東芝
  • 表面欠陥検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-235507   Applicant:富士ゼロックス株式会社
  • 帯状体の表面欠陥判定方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-295154   Applicant:日本鋼管株式会社
Cited by examiner (3)
  • 表面検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-204715   Applicant:株式会社東芝
  • 表面欠陥検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-235507   Applicant:富士ゼロックス株式会社
  • 帯状体の表面欠陥判定方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-295154   Applicant:日本鋼管株式会社

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