化学物質の検出装置、及び、その濃度測定方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：工藤実 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999141331
Publication number (International publication number)：2000329743
Application date： May. 21, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】特定物質のイオン化エネルギーに合わせることにより、その物質を選択的にイオン化することができる電子ビームを用いることを前提として、特定物質のイオン化効率を高め、その特定物質の分解確率を低減する。【解決手段】電子ビーム7を発生させ、電子ビーム7によりイオン化されたサンプルガス8を加速する。電子ビーム7のエネルギーの幅を積極的に狭くするための幅調整装置14,15とからなる。電子ビームのエネルギーを積極的に調整することにより特定物質をその分解確率を低減させて選択的にイオン化する。更に、その幅を調整することにより、その確率を選択的に一層に低減させる。イオントラップ16を設けることは、その存在確率を飛躍的に増大させる点で、特に、有効である。

Claim (excerpt)：

所定のエネルギーレベルの電子ビームを発生させるための装置と、前記電子ビームによりイオン化されたサンプルガスを加速するための装置と、前記電子ビームのエネルギーの幅を積極的に狭くするための幅調整装置とからなる化学物質の検出装置。

IPC (3)：

G01N 27/62 , G01N 30/72 , H01J 49/26

FI (5)：

G01N 27/62 V , G01N 27/62 G , G01N 30/72 A , G01N 30/72 C , H01J 49/26

F-Term (2)：

5C038GG01 , 5C038HH02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

質量分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-124899 Applicant：川崎製鉄株式会社
特開平3-210463
特開平3-210463

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