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J-GLOBAL ID：200903036903711647

スルホン酸オニウム塩化合物および感放射線性樹脂組成物

Inventor：
王 勇

About 王 勇

, 
小林 英一

About 小林 英一


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999135030
Publication number (International publication number)：2000327654
Application date： May. 14, 1999
Publication date： Nov. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 商業的な生産に適した構造を有し、感放射線性酸発生剤として、特に遠紫外線および荷電粒子線に対して高感度であり、半導体を害することがなく、揮発や副反応およびレジスト保存時の暗反応や異物発生の問題がなく、かつ高解像度である、新規なスルホン酸オニウム塩化合物、並びに当該化合物を感放射線性酸発生剤とするポジ型およびネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 スルホン酸オニウム塩化合物は、下記式(1)、式(2)等で代表される、エステル結合を有する化合物である。【化1】【化2】ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)前記スルホン酸オニウム塩化合物(感放射線性酸発生剤)と(B)酸解離性基含有樹脂を含有し、またネガ型感放射線性樹脂組成物は、(A)前記スルホン酸オニウム塩化合物(感放射線性酸発生剤)、(C)アルカリ可溶性樹脂、および(D)該アルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有する。
Claim (excerpt)：
下記一般式(1)または一般式(2)で表されるスルホン酸オニウム塩化合物。【化1】〔一般式(1)において、X1 は炭素数2〜10の、エステル結合を有する有機基を示し、複数存在するX1 は相互に同一でも異なってもよく、R1 は炭素数1〜10のアルキル基または炭素数1〜10のアルコキシル基を示し、複数存在するR1 は相互に同一でも異なってもよく、mは1〜11の整数、nは0〜10の整数で、m+n≦11を満たし、Z+ は硫黄またはヨウ素のオニウムカチオンを示す。〕【化2】〔一般式(2)において、X2 は炭素数2〜10の、エステル結合を有する有機基を示し、複数存在するX2 は相互に同一でも異なってもよく、R2 は炭素数1〜10のアルキル基または炭素数1〜10のアルコキシル基を示し、複数存在するR2 は相互に同一でも異なってもよく、rは1〜17の整数、sは0〜16の整数で、r+s≦17を満たし、Z+ は硫黄またはヨウ素のオニウムカチオンを示す。〕
IPC (5)：
C07C309/27 ,  C08K 5/42 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 601
FI (5)：
C07C309/27 ,  C08K 5/42 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 601
F-Term (47)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB29 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AB76 ,  4H006AB81 ,  4J002BC121 ,  4J002BC122 ,  4J002BG011 ,  4J002BG012 ,  4J002BH021 ,  4J002BH022 ,  4J002CC051 ,  4J002CC072 ,  4J002CC242 ,  4J002CD052 ,  4J002CD062 ,  4J002CD112 ,  4J002CD192 ,  4J002EJ067 ,  4J002ET017 ,  4J002EU187 ,  4J002EV256 ,  4J002FD142 ,  4J002FD147 ,  4J002FD200 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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