研磨材

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002242496
Publication number (International publication number)：2004083625
Application date： Aug. 22, 2002
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】衝撃合成ダイヤモンドよりも耐久性に優れると共に、酸化雰囲気における耐久性に優れた、新規な超微粒ダイヤモンドを用いた研磨材を提供すること。【解決手段】衝撃合成によって得られる、元素組成がBCxN(x=1〜20)である、硼素、炭素及び窒素からなるダイヤモンド構造物質の粉体であって、粉体の一次粒子の平均直径が5〜10nm、かつ、二次粒子の直径が45〜550nmである粉体からなる研磨材。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

衝撃合成によって得られる、元素組成がBCxN(x=1〜20)である、硼素、炭素及び窒素からなるダイヤモンド構造物質の粉体であって、粉体の一次粒子の平均直径が5〜10nm、かつ、二次粒子の直径が45〜550nmである粉体からなる研磨材。

IPC (4)：

C09K3/14 , B24B37/00 , G11B5/84 , H01L21/304

FI (5)：

C09K3/14 550C , C09K3/14 550F , B24B37/00 H , G11B5/84 A , H01L21/304 622B

F-Term (6)：

3C058AA07 , 3C058AC04 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA17 , 5D112GA14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

多結晶性BCN物質及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-268859 Applicant：工業技術院長, セントラル硝子株式会社, 旭化成工業株式会社
研磨剤スラリ-
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-183259 Applicant：株式会社岡本工作機械製作所
研磨剤スラリーおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-198110 Applicant：株式会社岡本工作機械製作所

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Cited by examiner (5)

多結晶性BCN物質及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-268859 Applicant：工業技術院長, セントラル硝子株式会社, 旭化成工業株式会社
ダイヤモンド型結晶構造を有するBCN物質の分離精製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-182153 Applicant：工業技術院長, 旭化成工業株式会社
研磨剤スラリ-
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-183259 Applicant：株式会社岡本工作機械製作所

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