3次元計測方法とその計測装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (8)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004268415
Publication number (International publication number)：2006084286
Application date： Sep. 15, 2004
Publication date： Mar. 30, 2006
Summary：

【課題】従来の3次元計測方法とその計測装置は、基準となるパラメータや平面が実際の平面サンプルとは異なっていたり、カメラノイズやコントラストのバラツキの存在によって精度が低くなったり、ハードウェアが複雑になるという問題がある。【解決手段】本発明の位相シフト法による3次元計測方法は、測定前に基準サンプルを使用し全計測点について、基準サンプルにおける位相を測定し、前記基準サンプルにおける位相の位相接続処理を行い、その結果を誤差最小化処理し、得られた全計測点の位相を基準位相として求め、測定時測定対象物について算出した位相から基準位相を差し引くことによって測定対象物の高さを得る3次元計測方法とその計測装置である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

位相シフト法による3次元計測方法であって、測定前に基準サンプルを使用し任意に定めた全計測点に対して、基準サンプルにおける位相を測定し、該位相の位相接続処理を行い、その結果に対して誤差最小化処理を施し、得られた全計測点における位相を基準位相として予め求めておき、測定対象物を測定して算出した位相から前記基準位相を差し引くことによって測定対象物の高さを得ることを特徴とする3次元計測方法。

IPC (2)：

G01B 11/25 , G01B 11/24

FI (2)：

G01B11/24 E , G01B11/24 K

F-Term (16)：

2F065AA24 , 2F065AA53 , 2F065EE00 , 2F065FF06 , 2F065FF61 , 2F065HH06 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL41 , 2F065QQ00 , 2F065QQ18 , 2F065QQ24 , 2F065QQ26 , 2F065QQ33

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

表面形状3次元計測方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-148208 Applicant：松下電工株式会社
3次元形状測定システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-049145 Applicant：株式会社資生堂
特許番号第291321号

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