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J-GLOBAL ID：200903037693086260

液滴塗布装置

Inventor：
弘中 浩二

About 弘中 浩二

, 
三浦 淳

About 三浦 淳


Applicant, Patent owner：
株式会社 日立インダストリイズ

About 株式会社 日立インダストリイズ


Agent (2)： 作田 康夫 ,  井上 学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004329935
Publication number (International publication number)：2006136836
Application date： Nov. 15, 2004
Publication date： Jun. 01, 2006
Summary：
【課題】干渉画像により濡れ広がった液滴形状の体積を計測し液滴塗布条件を把握することにより、最適な塗布条件を設定する方法と装置を提供する。【解決手段】基板7上の塗布位置に対して設定された液滴量で塗布する液滴塗布手段と、前記液滴塗布手段によって塗布されている液滴状態をカメラ3により撮像する手段と、撮像した画像より液滴状態を検出する手段と、液滴塗布時の塗布時間、エアー圧、バキューム圧、電圧等を制御する塗布量コントロール手段と、この液滴塗布手段と撮像手段を移動させる手段を備えた液滴塗布装置において、液滴状態をカメラにより撮像する手段が、白色の干渉であり前記撮像画像の干渉色計測4を用いて、液滴高さ勾配の変化位置別に面積と高さデータより液滴の体積を求め、液滴の濡れ広がり状態、液適量、隣合う液滴の連結状態を監視し、常に塗布条件が一定となるように、前記液滴制御手段によってコントロールする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板上の塗布位置に対して設定された液滴量で塗布する液滴塗布手段と、前記液滴塗布手段によって塗布されている液滴状態をカメラにより撮像し、撮像した画像より液滴状態を検出する手段と、液滴塗布時の塗布時間、エアー圧、バキューム圧、電圧等を制御するコントロール手段と、前記液滴塗布手段とカメラとを移動させる手段を備えた液滴塗布装置において、 前記カメラの前に干渉ユニットを設けた撮像手段と、前記撮像手段が撮像した干渉色画像を用いて、液滴の高さと面積、及び体積を求める画像解析手段を設け、前記コントロール手段が前記画像解析手段で求めた液滴のデータに基いて塗布条件を設定することを特徴とする液滴塗布装置。
IPC (3)：
B05C 5/00 ,  B05C 11/00 ,  B05C 11/10
FI (3)：
B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  B05C11/10
F-Term (18)：
4F041AA02 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA34 ,  4F041BA51 ,  4F042AA02 ,  4F042BA02 ,  4F042BA03 ,  4F042BA06 ,  4F042BA08 ,  4F042BA21 ,  4F042CA09 ,  4F042CB03 ,  4F042CB07 ,  4F042CB10 ,  4F042CB11 ,  4F042DH09 ,  4F042ED03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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