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J-GLOBAL ID：200903038075215048

感光性樹脂組成物

Inventor：
小出村 順司

About 小出村 順司


Applicant, Patent owner：
日本ゼオン株式会社

About 日本ゼオン株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999373959
Publication number (International publication number)：2001188343
Application date： Dec. 28, 1999
Publication date： Jul. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性等の諸性能に優れるとともに、低誘電性に優れた微細なパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 脂環式オレフィン重合体に、アミド基やカルボキシル基のごとき酸誘導体型残基を有する化合物を変性反応させて得られるアルカリ可溶性脂環式オレフィン重合体、アルコキシメチル化メラミンやアルコキシメチル化グリコールウリルのごとき架橋剤、及びハロゲン含有トリアジン化合物のごとき光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物を得る。
Claim (excerpt)：
脂環式オレフィン重合体に、酸性基を有する化合物又は酸誘導体型残基を有する化合物を変性反応させて得られるアルカリ可溶性脂環式オレフィン重合体、式(1)で表される基を有する架橋剤、及び光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物。 -CHnOR1 (1)〔式(1)中、R1は水素原子またはアルキル基である。nは1又は2(なお、nが1のときは2価の官能基になる。)である。〕
IPC (10)：
G03F 7/038 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/06 ,  C08L 45/00 ,  C08L 51/06 ,  C08L 51/08 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027
FI (10)：
G03F 7/038 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/06 ,  C08L 45/00 ,  C08L 51/06 ,  C08L 51/08 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (46)：
2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB42 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BK001 ,  4J002BN051 ,  4J002BN171 ,  4J002CE001 ,  4J002EB017 ,  4J002EB107 ,  4J002EC037 ,  4J002EE037 ,  4J002EJ057 ,  4J002EJ067 ,  4J002EN137 ,  4J002EQ037 ,  4J002ET016 ,  4J002EU167 ,  4J002EU186 ,  4J002EU227 ,  4J002EV197 ,  4J002EV217 ,  4J002EV237 ,  4J002EV247 ,  4J002EV297 ,  4J002EV327 ,  4J002EW057 ,  4J002EW177 ,  4J002FD030 ,  4J002FD146 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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