ITO焼結体の製造法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996341845
Publication number (International publication number)：1998182228
Application date： Dec. 20, 1996
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】スパッタリング中のノジュール発生がなく、異物発生が抑制された、焼結密度が7.08g/cm3の超高密度ITO(酸化インジウム-酸化スズ)焼結体を提供する。【解決手段】少なくとも酸化スズ粉末を気流中で相互に衝突させるか、または衝突体に衝突させて粉砕した後、酸化スズ粉末と酸化インジウム粉末とを混合、成形、焼結してITO焼結体を製造する。粉砕後の酸化スズ粉末は、その90wt%以上が0.2μm〜10μmの粒径を持つことが好ましく、このような粉砕にはジェットミルを用いることができる。

Claim (excerpt)：

実質的に酸化インジウム、酸化スズとからなる粉末を混合、成形、焼結してITO焼結体を製造する方法において、酸化スズ粉末を、気流中で相互に衝突させるか、または衝突体に衝突させて粉砕した後、酸化インジウム粉末と混合することを特徴とするITO焼結体の製造法。

IPC (3)：

C04B 35/495 , C23C 14/08 , C23C 14/34

FI (3)：

C04B 35/00 J , C23C 14/08 D , C23C 14/34 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

ITO焼結体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-336161 Applicant：東ソー株式会社
ターゲットおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-315084 Applicant：出光興産株式会社
特開平4-293769

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Cited by examiner (2)

ITO焼結体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-336161 Applicant：東ソー株式会社
ターゲットおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-315084 Applicant：出光興産株式会社

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