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J-GLOBAL ID：200903038173331595

ITO焼結体の製造法

Inventor： 松永 修 ,  長崎 裕一 ,  高畑 努
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996341845
Publication number (International publication number)：1998182228
Application date： Dec. 20, 1996
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 スパッタリング中のノジュール発生がなく、異物発生が抑制された、焼結密度が7.08g/cm3の超高密度ITO(酸化インジウム-酸化スズ)焼結体を提供する。【解決手段】 少なくとも酸化スズ粉末を気流中で相互に衝突させるか、または衝突体に衝突させて粉砕した後、酸化スズ粉末と酸化インジウム粉末とを混合、成形、焼結してITO焼結体を製造する。粉砕後の酸化スズ粉末は、その90wt%以上が0.2μm〜10μmの粒径を持つことが好ましく、このような粉砕にはジェットミルを用いることができる。

Claim (excerpt)：

実質的に酸化インジウム、酸化スズとからなる粉末を混合、成形、焼結してITO焼結体を製造する方法において、酸化スズ粉末を、気流中で相互に衝突させるか、または衝突体に衝突させて粉砕した後、酸化インジウム粉末と混合することを特徴とするITO焼結体の製造法。

IPC (3)：

C04B 35/495 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34

FI (3)：

C04B 35/00 J ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ITO焼結体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-336161   Applicant：東ソー株式会社
• ターゲットおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315084   Applicant：出光興産株式会社