軟X線顕微鏡

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994133567
Publication number (International publication number)：1995318700
Application date： May. 23, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】構成元素が未知の塗膜等の元素分析、内部組織の構成元素の定量および定性分析および高コントラストで内部組織観察を行うための軟X線波長選択が可能な軟X線顕微鏡を提供する。【構成】レーザー発生手段1と、軟X線を発生させるためのターゲット3と、この軟X線を波長ごとのラインスペクトルに分光するための分光手段6と、被測定材7を透過した軟X線を検出するための軟X線検出手段5と、からなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

レーザー発生手段と、軟X線を発生させるためのターゲットと、この軟X線を波長ごとのラインスペクトルに分光するための分光手段と、被測定材を透過した軟X線を検出するための軟X線検出手段と、からなることを特徴とする軟X線顕微鏡。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開平4-264300
特開平3-071100
X線顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-023753 Applicant：オリンパス光学工業株式会社