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J-GLOBAL ID:200903038874601333
データ処理方法、データ処理プログラム、該プログラムを記録した記録媒体およびデータ処理装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
酒井 昭徳
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006161456
Publication number (International publication number):2007329415
Application date: Jun. 09, 2006
Publication date: Dec. 20, 2007
Summary:
【課題】連続量の目的変数に関連付けられた複数の連続量の説明変数の中から目的変数に影響度の高い説明変数を選び出すこと。【解決手段】目的変数の異常値を除去する。目的変数と複数の説明変数の間の関連度を計算し、関連度の高い複数の説明変数を抽出し、それらの間の独立度を計算する。関連度および独立度に基づいて、目的変数に大きな影響を与える可能性の高い説明変数の複数の候補を選択する。累積寄与率に基づいて、説明変数の候補の中から目的変数に対する寄与率の高い説明変数を選択し、回帰式を計算して、目的変数の予測値を求める。目的変数の予測値と実測値との差分を新たな目的変数とし、かつこの差分を求める際に用いた説明変数を除いた残りの説明変数を新たな説明変数として、同様の処理を繰り返す。【選択図】図3
Claim (excerpt):
目的変数と複数の説明変数の間の関連度を計算する関連度計算工程と、
前記関連度計算工程で得られた関連度に基づいて抽出された複数の説明変数間の独立度を計算する独立度計算工程と、
前記関連度計算工程で得られた関連度および前記独立度計算工程で得られた独立度に基づいて、目的変数に大きな影響を与える可能性の高い説明変数の複数の候補を選択する説明変数候補選択工程と、
前記説明変数候補選択工程で選択された複数の候補の中から目的変数に対する寄与率の高い説明変数を選択する説明変数選択工程と、
前記説明変数選択工程で選択された説明変数を用いて回帰式を計算する回帰式計算工程と、
前記回帰式計算工程で回帰式を計算して得られた目的変数の予測値と既知の目的変数の実測値の差を算出する残差算出工程と、
を含み、
前記残差算出工程で得られた目的変数の予測値と実測値の差を新たな目的変数とし、かつ前記説明変数選択工程で選択された説明変数を除いた残りの説明変数を新たな説明変数として、前記関連度計算工程から前記残差算出工程までの一連の処理を繰り返し行うことによって、当初の説明変数の中から目的変数に大きな影響を与える複数の説明変数を決定することを特徴とするデータ処理方法。
IPC (4):
H01L 21/02
, G06F 17/50
, G06F 19/00
, G06F 17/30
FI (4):
H01L21/02 Z
, G06F17/50 662G
, G06F19/00 130
, G06F17/30 220Z
F-Term (12):
5B046AA08
, 5B046BA03
, 5B046JA04
, 5B075ND02
, 5B075NS10
, 5B075QP01
, 5F064CC09
, 5F064CC22
, 5F064CC23
, 5F064HH06
, 5F064HH09
, 5F064HH10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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データ解析装置およびデータ解析方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-284578
Applicant:富士通株式会社
-
データ解析方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-127534
Applicant:富士通株式会社
-
データ解析方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-338185
Applicant:富士通株式会社
-
プラズマ処理装置の異常原因判定方法及び異常原因判定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-143887
Applicant:東京エレクトロン株式会社
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Cited by examiner (5)
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